Poudre de rodage pour plaquettes semi-conductrices GC800# Carbure de silicium vert
Introduction
La poudre de rodage en carbure de silicium (SiC) vert GC800# est un matériau abrasif synthétique de haute pureté conçu pour répondre aux exigences précises et exigeantes du rodage et du polissage des plaquettes de semi-conducteurs.
Ce produit est spécialement conçu pour les applications où une finition de surface exceptionnelle, une planéité et des dommages minimes sous la surface sont essentiels pour les performances des circuits intégrés.
Sa dureté supérieure et sa morphologie de particules contrôlée en font un choix idéal pour les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.
PROPRIÉTÉS PHYSIQUES
| Poids spécifique | 3,95 grammes/ cm3 |
| Dureté de Mohs | 9,5 |
| Température maximale de service | 1900℃ |
| Point de fusion | 2250℃ |
Analyse chimique typique [%]
| SiC | Fe2O3 | FC | F.Si | SiO2 | LOI |
| 98,0-99,5 | ≤ 0,15 | ≤0,30 | ≤0,40 | ≤0,70 | < 0,09 |
DISTRIBUTION DE LA TAILLE DES PARTICULES
CHAPITRE Ⅰ (NORME JIS)
| Taille | D O (un) | D 3 (um) | D 50 (un) | D 94 (um) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57,0±3,0 | ≥40 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48,0±3,0 | ≥33 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40,0±2,5 | ≥27 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35,0±2,0 | ≥23 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30,0±2,0 | ≥20 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25,0±2,0 | ≥16 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20,0±1,5 | ≥13 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17,0±1,5 | ≥11 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14,0±1,0 | ≥9,0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11,5±1,0 | ≥7,0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9,5±0,8 | ≥ 5,5 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8,0 ± 0,6 | ≥4,5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6,7±0,6 | ≥4,0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5,5±0,5 | ≥3,0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4,0 ± 0,5 | ≥ 2,0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8,0 | 3,0 ± 0,4 | ≥1,8 |
| #6000 | ≤8,0 | ≤5,0 | 2,0 ± 0,4 | ≥0,8 |
| #8000 | ≤6,0 | ≤3,5 | 1,2±0,3 | ≥0,6 |
CHAPITRE II (NORME FEPA)
| Taille | D 3 (um) | D 50 (un) | D 94 (um) |
| F230 | ＜82 | 53,0±3,0 | >34 |
| F240 | ＜70 | 44,5±2,0 | >28 |
| F280 | ＜59 | 36,5±1,5 | >22 |
| F320 | ＜49 | 29,2±1,5 | >16,5 |
| F360 | ＜40 | 22,8±1,5 | >12 |
| F400 | ＜32 | 17,3 ± 1,0 | >8 |
| F500 | ＜25 | 12,8 ± 1,0 | >5 |
| F600 | <19 | 9,3±1,0 | >3 |
| F800 | ＜14 | 6,5±1,0 | >2 |
| F1000 | ＜10 | 4,5±0,8 | >1 |
| F1200 | ＜7 | 3,0 ± 0,5 | >1 (à 80%) |
| F1500 | ＜5 | 2,0 ± 0,4 | > 0,8 (à 80 %) |
| F2000 | ＜3,5 | 1,2±0,3 | > 0,5 (à 80 %) |
Principalement des applications
-Abrasifs agglomérés et abrasifs appliqués
-Grenaillage, traitement de surface, élimination de la rouille
-Grenaillage humide et sec, meulage et polissage, etc.
– Stratifiés sol/mur, résistants à l’usure
-Produits en céramique : céramique et carrelage, plaque filtrante en céramique, membrane en céramique, etc.
-Peinture au téflon etc.
– Matériau isolant thermique
-Meules, meules boisseaux, pierres à aiguiser, tampons de polissage, etc.
-Utilisé pour les creusets, les pièces pour la cuisson au four, les joints mécaniques et les matériaux de pièces pour produire des semi-conducteurs
